Im Fachgebiet Oberflächenforschung stehen verschiedene Meßmethoden zur Verfügung. Diese sind hauptsächlich Methoden zur Analyse von Oberflächen, die zum größten Teil in die UHV-Systeme (DAISY-MAT, DAISY-FUN und DAISY-SOL) des Fachgebiets integriert sind. Neben der am häufigsten verwendeten Methode, der Photoelektronenspektroskopie (XPS/UPS), stehen auch Beugungs- (LEED) sowie direkt abbildende Methoden (STM/AFM) zur Verfügung.